桌面級經(jīng)濟型三維激光直寫(xiě)設備主要特點(diǎn):
1.緊湊型設計,功能齊全,操作簡(jiǎn)便
2.直寫(xiě)加工,百納米進(jìn)度3D加工
3.超高速加工模式
4.高精度納米定位系統
5.超清顯微成像系統
6.激光能量穩定系統
DLW-RD基于多光子聚合原理,具有封閉光路設計,隔振溫控系統,使得小型化、經(jīng)濟型設備也具有加工過(guò)程中的長(cháng)時(shí)穩定性。得益于多光子聚合和高自由度的設計,給出了一種經(jīng)濟型納米級3D制造的解決方案,適配多功能的材料,可應用于生物醫學(xué)工程、微光學(xué)器件、超材料等應用領(lǐng)域。
材料優(yōu)勢:
適用于三維微納制造的光敏材料產(chǎn)品特點(diǎn):
分辨率高,最小特征尺寸可達70nm;
響應速度快,適合高速微納級加工制造;
粘接性?xún)?yōu)異,適用于金屬、玻璃、硅片等各種基材;
力學(xué)性能佳,機械性能完備,適合三維立體結構的加工制造;
綠色無(wú)污染,不含揮發(fā)性溶劑,無(wú)需前處理,操作簡(jiǎn)單;
匹配度高,與我司光刻設備和系統精確契合。